Moyens de croissance

Les différentes techniques de croissance disponibles au C2N sont :

- la MBE (molecular beam epitaxy) de III-V

- la MOVPE (metalorganic vapor phase epitaxy) de systèmes III-V et SiGeSn

- la UHV-CVD (ultra-high vacuum chemical vapor deposition) du système SiGe

- la CBE (chemical beam epitaxy) de III-V et d'alliages SiGe

- la PLIE (pulsed laser induced epitaxy) et le GILD (gas immersion laser doping) pour le Si supraconducteur

- la PLD (pulsed laser deposition) et la MBE hybride pour l'élaboration d'oxydes fonctionnels

- la CVD/PECVD AIXTRON (chemical vapour deposition) de graphène

Membres


Grégoire BEAUDOIN
Tel : (+33) 1 70 27 04 64
gregoire.beaudoin@c2n.upsaclay.fr


Antonella CAVANNA
Tel : (+33) 1 70 27 04 59
antonella.cavanna@c2n.upsaclay.fr


Sylvain EIMER
Tel : (+33) 1 70 27 03 94
sylvain.eimer@c2n.upsaclay.fr


Géraldine HALLAIS
Tel : (+33) 1 70 27 03 49
geraldine.hallais@c2n.upsaclay.fr


Ali MADOURI
Tel : (+33) 1 70 27 04 57
ali.madouri@c2n.upsaclay.fr


Martina MORASSI
Tel : (+33) 1 70 27 04 67
martina.morassi@c2n.upsaclay.fr


Laurent TRAVERS
Tel : (+33) 1 70 27 04 65
laurent.travers@c2n.upsaclay.fr


Davide CAMMILLERI
Tel : (+33) 1 70 27 03 00

Département Matériaux

Cette "PlatefOrme Élaboration des Matériaux" fait partie du Département Matériaux

MBE

PLIE et GILD

MOVPE

PLD

UHV-CVD et CBE

CVD/PECVD AIXTRON

Aixtron CVD